专家谈中国洁净室技术发展之道
伴随着中国半导体工业、中国显示器行业飞快地进步,我们也正好是伴随着这个行业在成长,因此通过对一些项目简单地介绍,让这个技术性的发展,来对中国的洁净室和半导体行业起到作用,因为工作环境是相当高的。
从范围来讲,有宽通空调系统、洁净装修、环氧涂装、自流平、PVC地板、驾空地板、大宗气体系统、特殊气体系统、化学品、纯水,这个我们达到了18.2兆的水平,这是世界的最高水平。还有废水和其他的一些。
这个是我们国家第一条日电电子工程生产线。月投片是8000片,那么,这两个工程是我们属于现代电子工厂建设的前期。我们把它作为一个高科技的工厂的前期。
从洁净室来说,它是一个比较全面的,因为时间的关系,我们不能做全面的介绍,只能从空调方面来做介绍。它对于我们国家来说,也是革命性的环境的解决方案。
这是我们典型的早期的方案,这一块的半导体工厂的人员、车间都是在这个位置。那么,上下都是新风机,那么它的工作原理是在天花顶层有一个反复的高效作用器。这上面两个是循环空调机,也可以放在上面,也可以放在侧面。通过新风机组补充新风,通过循环风机把洁净室通过地面下来的回风,通过循环风机对于冷量和湿度的调节,然后送到静压箱进行混合,然后通过顶部循环到车间里面去。
这样,使我们整个的气体,跟我们大型的空调不一样。我们大型的空调可能只有几个功能,这里是所有的空气从顶层全部压下来。这是我们第一步实现的现代洁净室的原理,它达到了100级以上。
100级是什么概念呢?举个例子,今天大家在做的环境,是我们看到的非常干净的环境,应该是多少级呢?是200万到300万级,就是每立方英尺大于5个颗粒,就是相当于3.05平方米,这么大的体积里面所拥有的超过0.5以上的微米是多少。那么,我们今天这个环境,我估计在200万到300万G。那么,这样的洁净室,达到的是100微米,就是不能超过100微米,得小于100微米。


星级

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